首页 > 产品信息

 

W系列—弧高币安网交易所
 专利号:ZL201120280620.7

 

探测系统:

显微探头:实现快速弧高及台阶测量,可测弧高台阶范围50~2000μm(一般弧高的高度不超过800μm),并支持器件几何尺寸测量;
激光探头:

实现快速台阶测量,可测台阶范围2~500μm,并支持表面轮廓扫描。

 

系统配置:

用途
1.弧高测量 2.台阶测量 3.器件尺寸测量
型号
WB-70RX
载物台
全自动载物台
行程:105mm X 105mm
支持夹具定制
聚焦
电动聚焦系统,解析率:1.0μm
显微探头:含影像自动聚焦及特有双ROI长焦扫描功能
激光探头:含影像辅助定位功能
照明系统
环形、同轴照明可选
软件系统
图像处理软件系统,
带虚拟弧高算法功能及SPC控制模块
检查性能
显微探头:高度测量3σ≤3.0μm,精度±3um;
激光探头:高度测量3σ≤0.2μm,精度±0.2um;
标配外观尺寸
长:800mm  宽:750mm  高:1500mm

 

 

 

 

版权所有:币安app官网下载 苏ICP备15029769号-1    关于我们 产品信息 资质荣誉 技术反馈 资料下载 联系我们