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【T系列—标尺计量仪】

系统配置:
用途
1、微观尺寸、套刻分析 2、点距测量 3、缺陷标注
型号
TJC-105L
载物台
全自动载物台,
行程:105mm X 105mm
探测系统
工业显微镜,综合放大倍率8.0X ~100X
成像系统
高品质CCD成像系统
照明系统
同轴、环形照明可选
夹具
支持夹具定制:
—用于划片观测的夹具,可实现夹紧、旋转及
在0°、90°、180°、270°的锁定功能
—用于裸片观测的夹具,以NOTCH作为机械定位
基准,实现真空吸附功能
反馈系统
线性反馈尺,解析率:1.0um/ 0.1um可选
隔振系统
隔振平台,有效隔离高频振动
软件系统
全功能图像处理软件系统及批处理测控语言,支持拼图功能,提供各类数据库接口,可将测量结果上传至工艺主控终端
检查性能
微观两维尺寸检测3σ≦0.2um,精度±0.2um
外观尺寸
主机外观尺寸:
550mm *550mm *700mm
 
测量实例:
 
 
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