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【T系列—声表币安下载app】
系统配置:
用途
1、微观尺寸、套刻分析 2、点距测量 3、缺陷标注
型号
TJC-950UV
载物台
手动/自动载物台可选
行程:158mm X 158mm
         210mm X 210mm
探测系统
高品质工业用显微镜,5X~150X物镜可选
成像系统
高品质CCD成像系统
照明系统
透射、反射照明可选,可切换明、暗场观察法
夹具
支持夹具定制:
—用于划片观测的夹具,可实现夹紧、旋转及
在0°、90°、180°、270°的锁定功能
—用于裸片观测的夹具,以NOTCH作为机械定位
基准,实现真空吸附功能
反馈系统
线性反馈尺,解析率:1.0um/ 0.1um可选
隔振系统
隔振平台,有效隔离高频振动
软件系统
全功能图像处理图像处理软件系统及批处理测控语言,支持拼图功能,提供各类数据库接口,可将测量结果上传至工艺主控终端
检查性能
微观两维尺寸检测3σ≦5nm,精度±5um
外观尺寸
长:1200mm 宽:800mm 高:1500mm
附加机构  自动上下片装卸装置及激光自聚焦系统可选
软件特点:
 
 
 
 
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