首页 > 产品信息

【T系列—声表币安下载app】
系统配置:
用途
1、微观尺寸、套刻分析 2、点距测量 3、缺陷标注
型号
TJC-850
载物台
高精度纳米载物台
行程:800um X800um
探测系统
高品质工业用显微镜,5X~150X物镜可选
成像系统
高品质CCD成像系统
照明系统
透射、反射照明可选,可切换明、暗场观察法
夹具
支持夹具定制:
—用于划片观测的夹具,可实现夹紧、旋转及
在0°、90°、180°、270°的锁定功能
—用于裸片观测的夹具,以NOTCH作为机械定位
基准,实现真空吸附功能
反馈系统
线性反馈尺,解析率:1.0um/ 0.1um可选
隔振系统
隔振平台,有效隔离高频振动
软件系统
全功能图像处理图像处理软件系统及批处理测控语言,支持拼图功能,提供各类数据库接口,可将测量结果上传至工艺主控终端
检查性能
微观两维尺寸检测3σ≦10nm,精度±10um
外观尺寸
长:1200mm 宽:800mm 高:1500mm
软件特点:
版权所有:币安app官网下载 苏ICP备15029769号-1    关于我们 产品信息 资质荣誉 技术反馈 资料下载 联系我们